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特長

■ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
■モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。

用途

■理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
■真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
■半導体製造装置。
■真空蒸着装置、凍結乾燥器。
■医療用機器全般。

仕様

■排気速度(L/min)50/60Hz:5/6
■到達圧力(Pa):4×10[[の3乗]]
■吸気口径(mm):12
■電源(V):単相100
■寸法(mm):80×199×156
■騒音値(dB):-
■吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6
■サーマルプロテクタ付
■使用油:ＳＭＲ－１００
■排気速度50/60Hz(L/min):5/6
■吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6
■最大寸法(mm):80(W)×199(L)×156(H)

※油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
※停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
※大気圧近くでの連続運転には不適当です。

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